磁控溅射磁铁有什么用

根据楼主的描述，应该是磁控溅射，但是不知道是不是反应溅射，如果是反应溅射，电压低成膜慢是正常现象没有见过类似的镀膜机，不知道两个腔体是不是相通如果不通，可能有漏气的地方，但是抽速够快的话，显示压强还是没问题的另外，磁铁的好坏只测试靶表面的磁场强度就好，磁场强度越高，电压越低。

一种提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的方法，将适当厚度的钕铁硼磁体表面采用真空磁控溅射镀Dy或Tb，重稀土的渗透深度为5500μm，形成富含Dy或Tb的高矫顽力晶界相层，然后再镀Al膜，制备的磁体具有高矫顽力和高耐腐蚀性的特点有效利用稀土提高矫顽力，和较好的抗腐蚀性能，既减少重稀土资源的浪费，降低了磁体生产成本。